VI
- EN

Sputtering Equipment

11/11/2021 - 11:50 PM

Cỡ chữ

Các thông số kỹ thuật

Vaccum chamber (10-6)
- Material: stainless steel
- Inside width: 420 mm
- Inside depth: 480 mm
- Inside height: 550 mm
- RF/DC co-sputtering capable (one RF gun and one DC gun running simultaneously)
Samples holder
- The 8 inch (200 mm) diameter sample holder allows to hold 1 sample up to 8 inches (200 mm) in diameter or 4 samples for 2 inch diameter.
- Speed of rotation of sample holder: 0 – 20 rpm
- Infrared heater: 750°C.
- RF sputtering source power: 600 W at 13.56 MHz frequency
- DC sputtering source power: 1000 W, output voltage of 1000 V.
- Using a quartz probe to measure the sputtering film thickness.

Tính năng thiết bị

Leybold's UNIVEX 400 sputtering device is an important device in the fabrication technique of thin films based on physical methods and is integrated with both DC and RF sources. It can be used to fabricate single films as well as multilayer films for many different materials.

Về trang trước Gửi email In trang

Kính hiển vi điện tử truyền qua độ phân giải cao

Thiết bị đo khả năng hấp phụ hydro của vật liệu

Phòng sạch

Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường

Thiết bị DC - Plasma dùng cho chế tạo vật liệu

Máy quang phổ Raman

THIẾT BỊ THỬ NGHIỆM CƠ LÝ VẬT LIỆU ĐA NĂNG AGX-50kNVD

Kính Hiển vi Điện tử quét (SEM) JMS-6510LV

Máy đo điện hóa biologic VSP300

Lò tần số chân không cao 2000oC Model: IMCS-2000

Hệ thiết bị CVD nhiệt

THIẾT BỊ PHÂN TÍCH DIỆN TÍCH BỀ MẶT VÀ LỖ XỐP TriStar II

THIẾT BỊ PHÂN TÍCH CỠ HẠT NANO SZ-100Z2

THIẾT BỊ PHÂN TÍCH NHIỆT QUÉT VI SAI DSC204F1

MÁY QUANG PHỔ HỒNG NGOẠI Nicolet iS10

THIẾT BỊ THỬ NGHIỆM GIA TỐC THỜI TIẾT QUV/spray

Thiết bị phun phủ HVOF HipoJet-2700-M

TỦ THỬ NGHIỆM MÔI TRƯỜNG EX10-1-4-AC-H-X

THIẾT BỊ THỬ NGHIỆM PHUN MÙ MUỐI CRH 1100-HSC

Thiết bị quang khắc URE 2000S

Kính hiển vi huỳnh quang độ phân giải cao

Thông tin nổi bật

LĨNH VỰC NỔI BẬT

Nghiên cứu khoa học, phát triển công nghệ, ứng dụng và chuyển giao sản phẩm, dịch vụ KHCN; hợp tác quốc tế và đào tạo trong lĩnh vực khoa học công nghệ vật liệu và các lĩnh vực khác có liên quan.

32 + Năm thành lập
Thành lập ngày 11 tháng 6 năm 1993
Khen thưởng
- 02 Huân chương Độc lập hạng ba
- 02 Huân chương Lao động hạng nhất
275 + Cán bộ
07 Giáo sư, 23 Phó giáo sư, 21 Nghiên cứu viên cao cấp, 103 Tiến sĩ …