Phòng thí nghiệm Trọng điểm về Vật liệu và Linh kiện điện tử

Giám đốc GS.TS. Nguyễn Huy Dân  Email: dannh@ims(*) Di động: 0912772339

CHỨC NĂNG/NHIỆM VỤ: ·    Nghiên cứu cơ bản, phát triển công nghệ và triển khai ứng dụng về vật liệu và linh kiện điện tử. ·    Đào tạo nhân lực khoa học công nghệ trình độ cao. ·    Mở rộng hợp tác trong nước và quốc tế. HƯỚNG NGHIÊN CỨU CHÍNH:  - Vật liệu điện tử có tính năng đặc biệt (lực kháng từ cao, độ thẩm từ cao, hấp thụ sóng điện từ cao, hiệu ứng từ nhiệt/nhiệt điện/nhớ hình, đa pha sắt điện-sắt từ…). - Linh kiện cho các thiết bị biến đổi năng lượng và điều khiển (máy phát điện gió/nhiệt điện, xe điện, máy làm lạnh bằng từ trường/nhiệt điện, bộ điều khiển điện từ, màng chắn từ, cảm biến điện từ, thiết bị vi cơ điện…).

DANH SÁCH THÀNH VIÊN

STT	Họ và tên	Biên chế/ HĐ/CTV	Điện thoại	Email Chú ý thay (*) = vast.ac.vn
1	GS.TS. Nguyễn Huy Dân	Biên chế	0912772339	dannh@ims.(*)
2	TS. Phạm Thị Thanh	Biên chế	0974288834	thanhpt@ims.(*)
3	TS. Nguyễn Hải Yến	Biên chế	0983400836	yennh@ims.(*)
4	TS. Đào Sơn Lâm	Biên chế	0985102333	lamds@ims.(*)
5	ThS. Phạm Văn Đại	Biên chế	0367702282	daipv@ims.(*)
6	ThS. Nguyễn Huy Ngọc	Biên chế	0975311890	ngocnh@ims.(*)
7	ThS. Kiều Xuân Hậu	Hợp đồng	0365206818	haukx@ims.(*)
8	KS. Trương Việt Anh	Hợp đồng	0349225666	anhtv@ims.(*)

CÁC THÀNH TỰU CHÍNH

1. Nghiên cứu chế tạo nam châm đất hiếm lực kháng từ cao ứng dụng trong mô tơ và máy phát điện

Xây dựng được quy trình công nghệ chế tạo nam châm thiêu kết (Nd, Dy)-Fe-B quy mô bán công nghiệp có lực kháng từ và tích năng lượng cực đại lớn, H_c > 25 kOe và (BH)_max > 30 MGOe, bằng phương pháp luyện kim bột, đáp ứng yêu cầu ứng dụng trong mô tơ và máy phát điện (hình 1). Kết quả nghiên cứu này góp phần tự chủ trong công nghệ sản xuất nam châm đất hiếm chất lượng cao trong nước thay thế hàng ngoại nhập, thúc đẩy công cuộc tiết kiệm năng lượng và bảo vệ môi trường bằng việc sử dụng năng lượng điện gió và các phương tiện vận chuyển điện.

(a)	(c)
(b)

Hình 1. Hình ảnh các viên nam châm (Nd, Dy)-Fe-B sau thiêu kết (a), các đường đặc trưng từ của chúng (b) và các viên nam châm ứng dụng trong máy phát điện gió và xe máy điện (c).

2. Nghiên cứu chế tạo vật liệu từ cứng không chứa đất hiếm ứng dụng trong an ninh-quốc phòng

Bằng cách thay đổi hợp phần và các điều kiện công nghệ, nhóm nghiên cứu đã chế tạo được nam châm Alnico (Al-Ni-Co-Fe-Cu-Ti…) có lực kháng từ cao hơn 1 kOe và tích năng lượng cực đại đạt trên 9 MGOe. Chúng tôi đã làm chủ được công nghệ để chế tạo được vật liệu có các thông số từ như mong muốn, đáp ứng yêu cầu chế tạo một số chi tiết từ cứng ứng dụng trong quốc phòng.

Các vật liệu từ cứng không chứa đất hiếm khác (Mn-Bi, Mn-Ga, Co-Zr…) cũng được nghiên cứu chế tạo nhằm đáp ứng yêu cầu ứng dụng thực tế. Chúng tôi đã chế tạo được vật liệu tổ hợp nanô Mn-(Bi,Ga)/(Fe-Co) có tích năng lượng cực đại (BH)_max ~ 5 MGOe.

3. Nghiên cứu chế tạo hợp kim nhớ hình ứng dụng trong điều khiển-vi cơ điện

Hợp kim nhớ hình là vật liệu có khả năng khôi phục lại hình dạng ban đầu khi chịu tác động của nhiệt độ hoặc từ trường. Với đặc tính lý thú này, các hợp kim nhớ hình có khả năng ứng dụng nhiều trong các lĩnh vực như y sinh, hàng không vũ trụ, tự động hóa... Chúng tôi đã nghiên cứu chế tạo được các hợp kim nhớ hình nền Nitinol (Ni-Ti, Ni-Ti-Cu…) và Heusler (Ni-Mn-Ga, Ni-Co-Mn-Al...) có khả năng ứng dụng thực tế.

Cấu trúc và tính chất từ trong hệ hợp kim Heusler Ni-Co-Mn-Al được khảo sát với các nồng độ khác nhau của Co và Al. Sự chuyển pha cấu trúc Martensite-Austenite liên quan đến hiệu ứng nhớ hình chỉ xảy ra với khoảng nồng độ thích hợp của Co và Al (Hình 2a). Hiệu ứng nhớ hình dạng có thể được điều khiển bởi nồng độ của Co và Al trong hệ hợp kim này.

Hợp kim nhớ hình nền Nitinol đã được nghiên cứu về cấu trúc vi mô, độ bền kéo, modul đàn hồi, độ biến dạng, độ cứng và khả năng chống ăn mòn. Hợp kim với cơ tính tốt, độ biến dạng cao, nhiệt độ chuyển pha cấu trúc khoảng 60^oC đã được dùng để chế tạo nhíp micro (Hình 2b). Nhíp micro này có thể dùng để phân loại, sắp xếp các hạt, các sợi kích thước một vài chục micromet.

(a)	(b)

Hình 2. Chuyển pha Martensite-Austenite trên các đường cong từ nhiệt của băng hợp kim nhớ hình Ni_50-xCo_xMn₃₂Al₁₈ (a) và nhíp micro (b).

4. Nghiên cứu chế tạo vật liệu từ nhiệt ứng dụng trong công nghệ làm lạnh bằng từ trường

Chế tạo thành công các hệ hợp kim từ nhiệt Heusler (Ni-Mn-Sn, Ni-Co-Mn-Sn…) và nguội nhanh (Fe-Cr-Zr-B, La-Fe-Si…) có hiệu ứng từ nhiệt lớn vùng nhiệt độ phòng. Các loại chuyển pha, trật tự từ và các tham số tới hạn của vật liệu đã được nghiên cứu. Chúng tôi đã thử nghiệm chế tạo thiết bị làm lạnh bằng từ trường có khoảng nhiệt độ thay đổi là 7 K. 

5. Nghiên cứu chế tạo vật liệu multiferroic ứng dụng trong lĩnh vực che chắn, hấp thụ sóng điện từ và xử lý môi trường

Vật liệu multiferroic tổ hợp nền BaTiO₃ đã được nghiên cứu chế tạo. Các kết quả cho thấy độ phân cực điện cực đại, độ phân cực điện dư, từ độ bão hòa và hệ số hấp thụ sóng điện từ của vật liệu nền BaTiO₃ đã được cải thiện đáng kể bằng việc lựa chọn thích hợp tỉ phần pha sắt từ trong vật liệu. Một số mẫu chế tạo được thể hiện tiềm năng ứng dụng của vật liệu multiferoic trong lĩnh vực hấp thụ sóng điện từ và xử lý ô nhiễm môi trường.

CÁC CÔNG BỐ TIÊU BIỂU

1.     Nguyen Huy Dan, Kieu Xuan Hau, Nguyen Hai Yen, Pham Thi Thanh, Nguyen Huy Ngoc, Truong Viet Anh, Highly oriented crystallization, and tunable structural transformation and magnetic transition in Ni-Co-Mn-Al shape memory alloys, Journal of Magnetism and Magnetic Materials, 589 (2024) 171576.

2.     Nguyễn Huy Dân, Nguyễn Văn Thao, Phạm Thị Thanh, Nguyễn Hải Yến, Nguyễn Huy Ngọc, Kiều Xuân Hậu, Quy trình chế tạo vật liệu từ cứng Alnico dị hướng bằng pháp đúc, Bằng độc quyền sáng chế số 38042, cấp theo Quyết định số 105229/QĐ-SHTT ngày 24/11/2023.

3.     Nguyễn Huy Dân, Phạm Thị Thanh, Nguyễn Hải Yến, Nguyễn Huy Ngọc, Kiều Xuân Hậu, Trần Đăng Thành, Vật liệu từ cứng chứa đất hiếm có lực kháng từ cao và phương pháp chế tạo vật liệu này, Bằng độc quyền sáng chế số 34971, cấp theo Quyết định số 925w/QĐ-SHTT ngày 14/2/2023.

4.     Pham Thi Thanh, Nguyen Huy Ngoc, Nguyen Mau Lam, Kieu Xuan Hau, Nguyen Hai Yen, Truong Viet Anh, Nguyen Huy Dan, Structure and magnetic properties of melt-spun Mn-Ga-Cu-Al ribbons, Materials Research Express, 10 (2023) 086101.

5.     Nguyen Hai Yen, Kieu Xuan Hau, Nguyen Huy Ngoc, Pham Thi Thanh, Truong Viet Anh and Nguyen Huy Dan, Influence of Co on Structure and Magnetic Properties of Ni_50-xCo_xMn₂₉Ga₂₁ Shape Memory Alloy Ribbons, Materials Transactions, 64 (2023) 2560-2567.

6.     Kieu Xuan Hau, Nguyen Hai Yen, Nguyen Huy Ngoc, Truong Viet Anh, Pham Thi Thanh, Nguyen Van Toan and Nguyen Huy Dan, Influence of Cu Concentration on Structure, Mechanical Properties and Corrosion Resistance of Ti­Ni­Cu Shape Memory Alloy Ribbons, Materials Transactions, 64 (2023) 849- 854.

7.     Dao Son Lam, Nguyen Ngoc Tung, Dang Duc Dung, Bui Xuan Khuyen, Vu Dinh Lam and Tran Dang Thanh, Electrical, magnetic and microwave absorption properties of multiferroic NiFe₂O₄-BaTiO₃ nanocomposites, Materials Research Express 9, (2022) 075004.

8.     Nguyen Huy Dan, Kieu Xuan Hau, Nguyen Hai Yen, Pham Thi Thanh, Nguyen Huy Ngoc, Truong Viet Anh, Nguyen Thi Nguyet Nga, Do Thi Kim Anh, Structure and magnetic properties of Ni_50−xCo_xMn_50−yAl_y (x = 5–9, y = 18–19) shape memory alloy ribbons, Journal of Alloys and Compounds, 916 (2022) 165470.

9.     Nguyen Hai Yen, Nguyen Trung Hieu, Nguyen Hoang Ha, Nguyen Mau Lam, Pham Thi Thanh & Nguyen Huy Dan, Large magnetocaloric effect and critical parameters around room temperature in the Fe₇₉Cr₆B₂Nd₃Zr₁₀ alloy ribbon, Journal of Materials Science: Materials in Electronics, 32 (2021) 18862–18872.

10.  Pham Thi Thanh, Nguyen Van Duong, Nguyen Hai Yen, Nguyen Huy Ngoc, Nguyen Mau Lam, Kieu Xuan Hau, Seong Cho Yu, Nguyen Huy Dan, Effect of adding non-ferromagnetic nanoparticles to grain boundary on coercivity of sintered Nd-Fe-B magnet, Current Applied Physics, 18 (2018) 329-334.

 

TRANG THIẾT BỊ CHÍNH

1. Lò trung tần ZG-0,01J

* Giới thiệu

Lò trung tần ZG-0.01J là một trong những kiểu lò tần số với tần số trung bình 4 kHz. Lò dùng để nấu nóng chảy hợp kim trong môi trường khí bảo vệ. Lò có xuất xứ Trung Quốc.

* Các thông số kỹ thuật

+ Khối lượng mẫu nấu: 2-10 kg/mẻ

+ Nhiệt độ có thể đạt được: 1700^oC

+ Công suất: 50 kW/h

+ Độ chân không: có thể đạt 6.6.10^-3 Pa

+ Tần số: 4 kHz

+ Môi trường làm việc: khí trơ.

+ Khuôn nguội nhanh: cho phép rót hợp kim nóng chảy vào khuôn nguội nhanh bằng nước.

2. Máy đập hàm Pex-100×125

* Giới thiệu

Máy đập hàm PEX-100 x 125 là một thiết bị trong dây truyền chế tạo nam châm thiêu kết Nd-Fe-B đảm trách bước đầu của quá trình nghiền (nghiền thô). Máy này dùng búa máy để phá vỡ hợp kim thành những mảnh nhỏ hơn trong môi trường khí trơ bảo vệ. Máy có xuất xứ Trung Quốc.

* Các thông số kỹ thuật

+ Kích cỡ cửa nạp liệu: 100 x 125 mm

+ Cỡ hợp kim đầu vào: ~ 20 mm

+ Cỡ hạt đầu ra: 2-4 mm

+ Công suất: 80 kg/h

+ Công suất động cơ: 3 kW

+ Môi trường làm việc: khí bảo vệ

3. Máy nghiền thô DSB f500×650

* Giới thiệu

Máy nghiền thô DSB ф 500 x 650 là một thiết bị trong dây chuyền chế tạo nam châm thiêu kết Nd-Fe-B đảm trách bước nghiền thô tiếp theo sau khi đã nghiền bằng máy đập hàm. Máy dùng trục xoắn để chà xát hợp kim thành bột trong môi trường khí trơ bảo vệ. Máy có xuất xứ Trung Quốc.

* Các thông số kỹ thuật

+ Trục xoắn (đường kính trong x chiều dài): ф 500 x 650 mm

+ Tốc độ quay của trục: 48 vòng/phút.

+ Cỡ hạt đầu vào: 2-4 mm

+ Cỡ hạt đầu ra: 200-300 mm

+ Công suất: 30-40 kg/h

+ Công suất động cơ: 3 kW

+ Môi trường làm việc: khí trơ bảo vệ

4. Máy nghiền Jet-Mill LHL-1

* Giới thiệu

Máy nghiền Jet-Mill LHL-1 là một thiết bị trong dây truyền chế tạo nam châm thiêu kết Nd-Fe-B đảm trách khâu nghiền mịn. Máy này lấy vật liệu đầu vào của máy nghiền thô DSB F500x650. Nguyên lý nghiền dùng khí nén áp suất cao gia tốc các hạt hợp kim khiến các hạt va chạm vào nhau và vỡ thành hạt bột rất mịn. Máy có xuất xứ Trung Quốc.

* Các thông số kỹ thuật

+ Kính thước đầu vào: < 1 mm

+ Kích thước đầu ra: < 5 µm

+ Công suất nghiền: 2-10 kg/mẻ

+ Công suất điện: ~ 12 kW

5. Máy ép định hướng ZCY25-200

* Giới thiệu

Máy ép trong từ trường ZCY25-200 là một thiết bị trong dây truyền chế tạo nam châm thiêu kết Nd-Fe-B. Máy này dùng để ép định hình và định hướng bột nam châm Nd-Fe-B trong từ trường tạo viên cho quá trình thiêu kết. Máy có xuất xứ Trung Quốc.

* Các thông số kỹ thuật

+ Áp lực hoạt động cực đại: 250 MPa

+ Áp lực có thể đạt được của hệ thống thủy lực: 15 MPa

+ Đường kính lõi sắt từ: 200 mm

+ Khoảng cách giữa hai cực từ: 0-160 mm

+ Cường độ từ trường: 2 T (khi hai cực từ cách nhau trong khoảng 10 mm)

+ Công suất đỉnh của nam châm điện: 15 kW

+ Công suất động cơ: 5,5 kW

6. Máy ép đẳng tĩnh DJY-120

* Giới thiệu

Máy ép đẳng tĩnh DYJ-120 là một máy trong dây chuyền chế tạo nam châm thiêu kết Nd-Fe-B. Máy dùng để ép nâng cao mật độ viên nam châm sau khi được ép định hướng sơ bộ. Máy có xuất xứ Trung Quốc.

* Các thông số kỹ thuật

+ Áp suất đẳng tĩnh cực đại của trụ trên: 230 MPa

+ Kích thước bình áp suất cao: f120 x 200 mm

+ Lực cực đại của đầu chày: 3200 kN

+ Đường kính đầu chày: 400 mm

+ Áp suất hệ thủy lực: 23 MPa

+ Diện tích ép: 1500 x 2500 mm²

+ Trọng lượng ép: ~ 6 tấn

+ Công suất môtơ: 7,5 kW

7. Lò thiêu kết chân không nguội nhanh RVS-15G

* Giới thiệu

Lò thiêu kết chân không nguội nhanh RVS-15G là một thiết bị trong dây truyền chế tạo nam châm thiêu kết Nd-Fe-B dùng để thiêu kết nam châm trong môi trường chân không cao. Máy có xuất xứ Trung Quốc.

* Các thông số kỹ thuật

+ Khối lượng mẫu thiêu kết: 1-15 kg/mẻ

+ Khoảng nhiệt độ: 300 - 1200^oC (~ 5^oC)

+ Công suất: 30 kW/h

+ Độ chân không: có thể đạt 2.10^-3 Pa

+ Môi trường làm việc: chân không cao hoặc khí trơ.

+ Kiểu nguội nhanh: nguội theo lò hoặc nguội cưỡng bức bằng khí thổi.

8. Hệ lò nung 1100^oC

* Giới thiệu

Hệ lò nung Lindberg/Blue M Three-Zone Tube Furnaces với ống lò có nhiều loại kích thước (từ 3 inch đến 6 inch), với giải nhiệt độ cao đến 1100^oC, cho phép nung, ủ các mẫu có kích thước tương đối lớn. Có thể điều khiển 3 vùng nhiệt độ trên ống lò, được kiểm soát bởi 3 cặp nhiệt loại K. Có thể đặt các mức tăng (hoặc giảm) và duy trì nhiệt độ theo thời gian bằng chương trình với tối đa 16 khoảng (bước). Điều khiển bằng tay hoặc bằng máy tính thông qua cổng ghép nối RS-485 với phần mềm kèm theo của nhà cung cấp.

* Các thông số kỹ thuật

+ Giải nhiệt độ làm việc: 200^oC đến 1100^oC

+ Kích thước ống lò: các loại ống lò đường kính ngoài từ 7,6cm đến 15,2cm

+ Vùng làm việc: 3 vùng, độ dài mỗi vùng tương ứng là 23cm, 45cm, 23cm

+ Điều khiển: 3 vùng lò, với tối đa 16 khoảng theo thời gian

+ Độ đồng đều nhiệt độ: ± 1.0^oC trong mỗi vùng độ dài 35,5cm

+ Sai số nhiệt độ đặt: ± 3^oC trong 3-5/16 khoảng đặt.

+ Nguồn nuôi: 208/240V, 50/60 Hz

+ Công suất 11KW.

9. Hệ lò nung chân không nhiệt độ cao GSL1600-80X

* Giới thiệu

GSL1600-80X là hệ lò nung ống đứng dùng thanh đốt MoSi. Thiết bị được dùng rộng rãi cho các phòng thí nghiệm vật liệu và hoá học để tổng hợp các vật liệu mới trong điều kiện chân không hoặc các loại khí khác. Nhiệt độ của lò được điều khiển bởi bộ điều khiển với độ chính xác ± 1^oC và chương trình hoá 51 thanh ghi đến 1600^oC (2912^oF).

* Các thông số kỹ thuật

+ Vật liệu ống lò: gốm Al₂O₃ siêu sạch

+ Kích thước ống: đường kính trong 70 mm, đường kính ngoài 80 mm, dài 1000 mm

+ Nhiệt độ hoạt động tối đa: 1600^oC (2912^oF)

+ Nhiệt độ hoạt động thường xuyên: 1500^oC (2732^oF)

+ Tốc độ đốt tối đa: 10^oC/phút

+ Vùng nhiệt độ đồng đều: 150 mm

+ Độ chính xác: ± 1^oC

+ Điện áp: 1 pha, 220 V, 50/60 Hz

+ Công suất tối đa đầu ra: 5 kW

+ Kích thước lò: 550 x 450 x 670 mm

10. Kính hiển vi điện tử quét phân giải cao Hitachi S-4800

* Giới thiệu

Hitachi S-4800 là kính hiển vi điện tử quét sử dụng súng điện tử kiểu phát xạ cathode trường lạnh FESEM và hệ thấu kính điện từ tiên tiến nên có độ phân giải cao, thường được dùng để đo các đặc trưng của các vật liệu cấu trúc nanô.

* Các thông số kỹ thuật

+ Độ phân giải ảnh điện tử thứ cấp: 1,0nm (15 kV, WD = 4nm); 1,4 nm (1 kV, WD = 1,5nm, kiểu giảm thế gia tốc); 2,0 nm (1 kV, WD = 1,5nm, kiểu thông thường)

+ Độ phóng đại: kiểu phóng đại thấp LM 20-2000 lần; kiểu phóng đại cao HM 100-800000 lần

+ Đầu dò điện tử truyền qua cho phép nhận ảnh theo kiểu STEM, Hệ EMAX ENERGY (EDX) cho phép phân tích nguyên tố trong vùng có kích thước μm

+ Có thể đo và phân tích các mẫu ở dạng khối, màng mỏng, bột. Nếu TEM chỉ cung cấp thông tin về các mẫu mỏng thì với SEM có thể nhận được ảnh ba chiều. Độ phân giải đạt được tốt nhất: 10 nm

+ Phân tích nguyên tố: EDX cung cấp thông tin về thành phần hóa học trong một giải rộng các nguyên tố từ B tới U trong mẫu với ba kiểu: Phân tích định tính và định lượng theo vùng lựa chọn; theo điểm lựa chọn; Phân tích và thể hiện sự phân bố các nguyên tố theo vùng lựa chọn.

11. Hệ nhiễu xạ tia X Equinox 5000

* Giới thiệu

Equinox 5000 là thiết bị nhiễu xạ tia X được dùng xác định các đặc trưng của vật liệu như thông tin định tính, định lượng pha tinh thể, độ kết tinh của mẫu nghiên cứu, xác định được hệ cấu trúc và các hằng số mạng tinh thể...

* Các thông số kỹ thuật

+ Nguồn: 30-32A/208-230V/50-60 Hz.

+ Nguồn tia X: công suất phát 3500 W, ống tia X chuẩn kiểu gắn kín (phóng xạ Cu, Co, Cr, Mo…).

+ Đầu dò: dạng cong độ nhạy cao CPS120, bán kính cong 250 mm, thu phổ với thời gian thực trên dải 120^o.

+ Ống đếm chứa khí C₂H₂/Ar.

12. Hệ phún xạ Eniver 400

* Giới thiệu

Thiết bị phún xạ UNIVEX 400 của hãng Leybold là một thiết bị quan trọng trong kỹ thuật chế tạo màng mỏng dựa trên phương pháp vật lý và được tích hợp sẵn cả nguồn DC và RF. Có thể ứng dụng chế tạo mang đơn lớp cũng như đa lớp cho rất nhiều loại vật liệu khác nhau. Màng tạo ra có độ mấp mô bề mặt thấp và có hợp thức gần với của bia phún xạ, có độ dày màng chính xác cao.

* Các thông số kỹ thuật

+ Buồng chân không  

- Vật liệu: bằng thép không gỉ có độ bóng cao

- Chiều rộng: 420 mm

- Chiều sâu: 420 mm

- Chiều cao: 550 mm

- Có cửa sổ quan sát kích thước 100 mm, chống được tia UV đảm bảo an toàn cho người sử dụng.

- Có 2 súng DC và 2 súng RF.

+ Bệ gá mẫu và gia nhiệt

- Bệ gá mẫu có đường kính 8 inch (200 mm) cho phép giữ 1 mẫu có đường kính lên đến 8 inch (200 mm) hoặc 04 mẫu đường kính 2 inch.

- Tốc độ quay bệ gá mẫu: 0 - 20 vòng/phút.

- Có bộ gia nhiệt hồng ngoại có thể gia nhiệt lên đến 750^oC.   

- Nguồn phún xạ RF công suất tối đa lên đến 600 W tại tần số 13,56 MHz với bộ hiển thị, cổng tương tác dạng Profibus.

- Nguồn phún xạ DC công suất tối đa lên đến 1000 W, điện áp ra 1000 V.

- Sử dụng đầu đo thạch anh đo độ dày màng phún xạ.

13. Hệ quang khắc OAI SERIES 800

* Giới thiệu

Thiết bị được thiết kế để điều chỉnh đồng trục quang học đế mẫu với mặt nạ sau đó phơi sáng vật liệu phủ trên đế mẫu sử dụng nguồn sáng UV theo thời gian phơi sáng đặt trước. Hệ thống bao gồm bộ điều khiển hệ thống, bộ đồng trục quang học và bộ phận phơi sáng. Bộ phận kính quang học sử dụng cho quan sát đồng trục quang học và nguồn sáng được điều khiển chuyển động hoàn toàn tự động tới vị trí phơi sáng với thời gian phơi sáng cài đặt tự động.

* Các thông số kỹ thuật

+ Nguồn sáng UV gồm:

- Nguồn đèn Thủy ngân Hg.

- Kính tạo hội tụ và tạo đồng nhất.

- Gương và bộ tạo chùm song song đồng nhất.

+ Hệ đồng trục quang gồm:

- Mặt nạ và giá đỡ.

- Phiến mẫu và đế giữ mẫu.

- Mâm cặp (Chuck).

+ Hệ kính hiển vi được sử dụng để quan sát và thực hiện đồng trục quang học, độ phóng đại 70x-400x.

+ Hai camera theo dõi quá trình in khắc.

+ Bộ điều khiển hệ thống với màn hình cảm ứng LCD.

+ Đế giữ mặt nạ kích thước, 2, 4, 6 và 8 inch.