|
1.7. Tính năng kỹ thuật:
- Thiết kế đồng bộ và an toàn
- Vật liệu đầu vào: Đa dạng, bao gồm có vật liệu kim loại, bán dẫn và phi kim
- Giao diện sử dụng: Dễ sử dụng
- Ngôn ngữ: Tiếng Anh
- Kích thước vật liệu đầu vào: Đường kính từ 10 - 50 µm, tùy thuộc loại vật liệu
Thông số kỹ thuật chi tiết:
Nguồn DC:
- Công suất tối đa: 100 kW
- Công suất hoạt động tối ưu: 60 kW
- Điện áp đầu vào: Xoay chiều 3 pha, 380 - 440V, 50Hz
- Số lượng đầu phát (torch): 3
- Dòng ra cực đại : 130 A
- Độ dài Plasma cực đại cho mỗi đầu phát: 300 mm
- Nhiệt độ Plasma cực đại: ≥ 6000 K
- Có hệ thống làm mát bằng nước
- Kiểu bố trí đầu phát: Dạng đối xứng, có thể tháo rời
- Vật liệu làm Cathode: Vonfram
- Vật liệu làm Anode: Đồng
Buồng phản ứng:
- Đường kính từ 4 - 5 inch
- Độ dày lớp cách nhiệt graphite bên trong thành buồng: 5mm
- Thân buồng loại 2 lớp, được làm mát bằng nước
- Độ dày đường bay của hạt nano bên trong buồng phản ứng: 1m
- Có thể làm sạch buồng phản ứng
- Vật liệu làm bằng thép không gỉ, có thể tháo rời
- Mức chân không trong buồng: Từ 10-1 – 10-2 mbar
Bộ lọc Cyclone:
- Kích thước lỗ trung bình: 0.5µm
- Kích thước tổng thể lõi lọc (đường kính x chiều dài): Ø100 x 500mm
Bộ phận điều khiển:
- Điều khiển lưu lượng khí bằng hệ thống PLC (Programmable Logic Controller)
- Có hệ thống hiển thị nhiệt độ và lưu lượng nước làm mát
- Điều khiển được công suất đầu phát
- Độ chính xác: ≤ 2kW
Bơm chân không:
- Loại bơm: Loại cánh gạt (Rotary vane)
- Tốc độ bơm lớn nhất ở tần số 50Hz: 30,2 m3/h
- Chân không tối đa ở chế độ không dùng van gas ballast: 5 x 10-3 mbar
- Chân không tối đa ở chế độ dùng van gas ballast: 8 x 10-3 mbar
Bộ phận cấp nguyên liệu đầu vào:
- Kiểu cung cấp nguyên liệu: Kiểu rung
- Có hệ thống điều khiển tốc độ
- Tần số rung: 45 - 300 Hz
- Kích thước vật liệu đầu vào tối đa: 8 x 8 mm2
1.8. Hướng dẫn sử dụng:
- Bật aptomat tổng và aptomat phụ
- Bật control box: vặn từ off sang on
- Bật chiller bằng cách vặn nút đỏ cạnh chiller ngoài cửa sổ
- Kiểm tra không có van đang đóng (khi bật bơm tăng áp, nếu có van nước đóng sẽ làm tăng áp lực nước dẫn đến leak nước)
- Bật bơm tăng áp (ấn nút xanh cạnh ống filter) - Kiểm tra leak nước làm mát ở các van dưới hệ plasma, làm mát nguồn DC - Bật máy nén khí (điều khiển các van thủy lực)
- Kiểm tra đóng van Nito
- Mở feeder
- Đong mẫu bằng cân tiểu ly, đổ vào feeder, đóng nắp ngay sau khi cho mẫu
- Chỉnh feeder:
o Ấn set: stroke (biên độ rung) F (tần số rung)
o Save để lưu giá trị hiện tại cho lần chạy tiếp theo
o khóa van feeder (xoay ốc vuông góc với trục feeder)
- Mở van khí Nito, điều chỉnh để áp suất khí trên màn hình ~3 bar
- ấn bật bơm trên màn hình điều khiển
- bật aptomat cho nguồn DC ở hộp điện chính (aptomat màu đen)
- bật nguồn cho DC bằng cách bật 2 aptomat sau tủ DC
- Trên màn hình điều khiển, bảng MFC setting: bật plasma gas 1->3
- Bật nguồn mặt trước:
o ấn và giữ set, xoay núm adjust để điều chỉnh công suất sau đó ấn và giữ set để lưu
o ấn nhẹ run/power on 1 lần: power on/stand by
o ấn nhẹ run/power on 1 lần nữa: ignition
- Ấn run để chạy feeder, vặn ốc để feeder bắt đầu cấp liệu
! Hệ thống tự ngắt khi cooling water vượt 45oC
! Tắt hệ plasma khi cooling water ~35oC ! Tắt hệ plasma khi bình khí còn ~10bar
(*) Quy trình tắt
- Tắt feeder (xoay ốc, ấn run để tắt)
- Tắt nguồn DC: ấn nhẹ stop 2 lần để đèn power on sáng và 3 đèn còn lại tắt
- Khóa 3 plasma gas phần MFT trên màn hình
- Tắt toàn bộ main power off của nguồn DC
- Ngắt 2 áp đằng sau, tắt áp màu đen trong hộp điện
- Khóa bình khí
- Khóa van khí nén (đóng van)
- Chờ nhiệt độ xuống bằng nhiệt độ phòng
- Tắt bơm tăng áp (ấn nút đỏ cạnh buồng filter)
- Tắt chiller khi nhiệt độ nước bằng nhiệt độ môi trường
- Đóng plasma control box: xoay nút từ on sang off
- Tắt 2 áp còn lại trong hộp điện
|