-
Lò điều khiển nhiệt độ tự động : Dải nhiệt độ làm việc: 25 oC -1100 oC, sai số ± 1oC
-
Chiều dài vùng nhiệt độ làm việc : 30 cm
-
Hệ điều khiển khí tự động GMC1200 được kết nối với các flowmeter khí :
+ Khí Ar, N2 có thể thổi với lưu lượng: 0-3000 sccm (cm3/phút)
+Khí H2 có thể thổi với lưu lượng: 0-2000 sccm
+Khí CH4, C2H2 có thể thổi với lưu lượng: 0-500 sccm
-
Ống thạch anh : Chiều dài: 1,2 m; đường kính: 2,5 cm.