FE-SEM (S-4800, HITACHI)
+ Các thông số kỹ thuật:
-
Độ phân giải ảnh điện tử thứ cấp:
-
1.0 nm (15kV, WD = 4nm)
-
1.4 nm (1 kV, WD = 1,5nm)
-
Độ phóng đại Kiểu phóng đại thấp 20 - 2000 lần
-
Kiểu phóng đại cao 100 - 800000 lần ·
-
Đầu dò điện tử truyền qua cho phép nhận ảnh theo kiểu STEM ·
-
Hệ EMAX ENERGY (EDX) cho phép phân tích nguyên tố trong vùng có kích thước μm
+ Tính năng thiết bị:
- Xác định hình thái, cấu trúc, kích thước, thành phần nguyên tố của các mẫu ở dạng khối, màng mỏng, bột.