+ Thông số kỹ thuật :
• Độ phóng đại: 100- 50.000 lần (ảnh xuất ra ở kích thước 128 mm × 96 mm).
• Điện thế gia tốc: 0.5 – 30 kV
• Có thể tạo ảnh dạng: Secondary Electron (SE, ảnh dạng bề mặt), Backscattered / Composition / Topography.
• Độ phân giải:
- High-vacuum (ở 30 kV): ~ 3.0 nm
- Low-vacuum (ở 30 kV): ~ 4.0 nm
+ Tính năng
- Xác định hình thái, cấu trúc, kích thước, thành phần nguyên tố của các mẫu ở dạng khối, màng mỏng, bột.
- Phân tích vật liệu rắn, composite, kim loại, ceramic, polymer, lớp phủ, lớp mạ, vết nứt, v.v.