PHOTOLITHOGRAPHY (M-8000, OAI)
+ Các thông số kỹ thuật:
- Nguồn sáng: (i-line) đèn thủy ngân (sóng dài 365 nm)
- Diện tích tiếp xúc: 110mm × 110mm ~ 150mm × 150mm
- Kích thước Wafer: Tối thiểu: 8mm x 8mm (f8mm); Tối đa: 150mm × 150mm (f15mm)
- Kích thước mặt : 1, 4, 5, 6, 8 inch
- Độ đồng đều chiếu sáng: ± 3.5% (110mm × 110mm); ± 5% (150mm × 150mm)
- Độ phân giải: 0.8mm ~ 1.2mm
- Độ dày màng tối đa của chất cản quang: (SU8): 600mm
- Căn chỉnh: căn chỉnh mặt dưới (BSA)
+ Tính năng thiết bị:Thiết bị in thạch bản - URE 2000S có thể được sử dụng để chế tạo các thiết bị điện tử (chẳng hạn như FET, tiếp điểm mở cho dây hàn, ...), chế tạo thiết bị MEMS, điện cực và bộ vi nhiệt của cảm biến và mặt nạ.